A Nikon Corporation egy nagy termelékenységű digitális litográfiai rendszert fejleszt a félvezetőgyártás back-end folyamatainak korszerű tokosodási eljárásaihoz. A rendszer 1,5 µm*1 L/S*2 felbontást biztosít, és a termelékenység további növelésére tervezték. A célkitűzés szerint az áteresztőképesség több mint 30 %-kal növekszik a DSP-100 digitális litográfiai rendszer3 által elért 50 panel/óra értékről 65 vagy annál több panel/óra4…